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日常的真空泵有哪些測(cè)量方式使用?

作者:handler發(fā)布時(shí)間:2022-10-28 08:55點(diǎn)擊:474
日常的真空泵有哪些測(cè)量方式使用?真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
1、熱偶真空計(jì)

利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。

2、電離真空計(jì)

由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來(lái)測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

3、復(fù)合真空計(jì)

由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成,測(cè)量范圍從大氣~10-5Pa。

4、冷陰極電離計(jì)

陽(yáng)極筒的兩端有一對(duì)陰極板,在外加磁場(chǎng)作用,陽(yáng)極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來(lái)測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

5、電阻真空計(jì)

利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,通過電橋電路來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。

6、麥克勞真空計(jì)

也成為壓縮式真空計(jì),將待測(cè)的氣體用汞(或油)壓縮到一極小體積,然后比較開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)。

7、電容薄膜真空計(jì)

這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲,放在柵網(wǎng)中心,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,延伸測(cè)量下限,可測(cè)超高真空。電容薄膜真空計(jì)將三種不同的規(guī)管綜合在個(gè)小型經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中,測(cè)量過程壓強(qiáng)和基本壓強(qiáng)從5x10-10至1500毫巴。

電容薄膜真空計(jì)由于具有測(cè)量精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、測(cè)量結(jié)果與氣體成分無(wú)關(guān)以及抗腐蝕、耐氣壓沖擊等一系列優(yōu)點(diǎn),因而越來(lái)越受到人們的重視。以它取代水銀壓力計(jì)、油壓計(jì)、電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)以至部分地取代電離計(jì)。
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