真空設備設計過程中需要注意哪些細節事項？

　  真空設備設計過程中需要注意哪些細節事項？真空設備制造產業發展研究報告闡述了世界真空設備制造產業的發展歷程，分析了中國真空設備制造產業發展現狀與差距，開創性地提出了"新型真空設備制造產業" 及替代品產業概念，在此基礎上，從四個維度即"以人為本"、"科技創新"、"環境友好"和"面向未來"準確地界定了"新型真空設備制造產業" 及替代產品的內涵。
　　根據"新型真空設備制造產業" 及替代品的評價體系和量化指標體系，從全新的角度對中國真空設備制造產業發展進行了推演和精準預測，在此基礎上，對中國的行政區劃和四大都市圈的真空設備制造產業發展進行了全面的研究。
真空設備設計中的注意事項如下：

　　(1)根據設備的工藝要求，確定真空設備的總的最大允許漏率。并依據這一總漏率確定各組成部件的最大允許漏率。

　　(2)根據設備的最大允許漏率等指標，在設計階段就初步確定將要采用的檢漏方法。并作為指導設備設計、加工、調試、驗收的基本原則之一。

　　(3)根據設備或部件的最大允許漏率指標，決定設備的密封、連接方式和總體加工精度。如法蘭采用金屬密封或橡膠密封，以及何種動密封形式能夠滿足要求。

　　(4)容器結構強度設計時，考慮如果采用加壓法檢漏時要求被檢件所應具有的耐壓能力和結構強度。

　　(5)選擇零部件結構材料時，考慮是否使用了可能被工作介質和示漏氣體腐蝕而導致損壞的材料。

　　(6)結構設計時，在容器或系統上要留有必要的檢漏儀器備用接口，以便在設備組裝、調試過程中檢漏使用。尤其是大型、復雜的管路系統，通常需要采用分段檢漏方法，因此在管路上要設置分段隔離的閥門，并在每一隔離段上預留檢漏儀器接口。

　　(7)零件結構設計時，盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設計方案。例如在真空室內螺釘孔不能采用盲孔形式，因為安裝螺釘后螺孔內部剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛漏，從而延長系統抽氣時間，干擾檢漏正常進行。

　　(8)與此類似，結構設計中不允許存在連續雙面焊縫和多層密封圈結構，因為這會在中間形成“寄生容積”。當只有內側焊縫或密封圈有漏孔時，“寄生容積”內的氣體會形成虛漏;而當內、外雙側焊縫或密封圈同時泄漏時，“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應時間過長，無法正常檢漏。

　　(9)焊接結構設計時，盡量減少總裝后用檢漏儀無法檢漏的焊縫。