螺桿真空泵是20世紀90年代初出現的一種理想的泵種，由于具有抽速范圍寬、結構簡單緊湊、泵腔內無摩擦元件、能耗低、無廢液排放，以及運行成本低等一系列優點，在半導體、光伏、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域得到了廣泛應用。

目前，各種真空泵的發展越來越受到真空應用場合的影響，一般傳統的真空泵系統已經無法滿足清潔無油、耐腐蝕、抽可凝性蒸汽，以及能在惡劣工況下運行的需要，因此，近幾年來，干式真空泵發展很快，真空獲得產品出現了更新換代的局面。

螺桿真空泵的工作原理：由一對同步齒輪帶動逆向旋轉的螺桿，在螺桿與螺桿之間、螺桿與泵腔之間，有一定的間隙，沒有任何金屬與金屬之間的接觸。于是，螺桿在旋轉過程中就將被抽氣體從進氣口吸入，并排出到排氣口。

早期的螺桿真空泵是等螺距，為了降低能耗、降低泵腔內的溫度，后來又開發了變螺距的螺桿真空泵。其中一種螺桿是由二段螺距大小不等的螺桿拼接而成，另一種就是螺距連續變化的螺桿真空泵，螺桿由一個整體材料加工制作而成。各種不同的螺桿見圖1所示。

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